无臭氧石英玻璃原料是在透明石英玻璃原料是在透明石英玻璃原料中加入二氧化钛，加入方法有三种：液相掺杂法、固相掺杂法和气相掺杂法。液相掺杂法是将四氯化硅液体溶入盐酸，将此液体掺入石英粉料中，而后在800℃电炉中煅烧，除去盐酸。固相掺杂法是将二氧化钛粉料掺入石英粉中。气相掺杂法，即化学气相沉积工艺（CVD法）。液相掺杂的优点是混合比较均匀，缺点原料必须煅烧除酸，固相掺杂比较简单，但常常掺不均匀，造成石英管有蓝线。掺杂量约200×10^-6Ti元素。

UV石英管是石英料中加入氧化钛和氧化铈，掺入方法有液相掺杂法和固相掺杂法两种。

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