过渡金属对高纯石英玻璃的影响也非常严重，微量Cr、Cu、Fe、Ni、Mn、Zn等溶入硅熔体，将影响石英玻璃的导电性，对仪器的可靠性和稳定性能起负面作用，还能使石英玻璃的高温变色及影响光透过率等，对石英玻璃的析晶起催化剂作用，微量的过渡金属对硅单晶的电学性质有着致命影响，能严重降低器件的性能。

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