1、多孔质二氧化硅浸润法：用氧分解SiCl₄原料，制成多孔质二氧化硅基体，再将该基体浸入到需要掺杂的氧化物的盐溶液中，干燥后，在加热使其玻璃化而透明，成为掺杂石英玻璃。该掺杂方法多用制造块状或异形掺杂石英玻璃。

2、溶胶-凝胶掺杂法：以硅酸乙酯为原料，将硅酸乙酯、乙醇和水混合后，加入掺杂的氧化剂的氧化物盐类，使其变为均匀的混合液，将该混合液经水解、凝胶化、收缩固化，成为均匀的胶体，在1100℃下加热该胶体，从而得到均匀的掺杂石英玻璃。该方法多用于块状掺杂石英玻璃。

3、气相沉积工艺：以SiCl4和掺杂物的低沸点化合物为原料，在一定蒸汽压下，用氢气分别对上述液体原料鼓泡带料，使气相混合料从燃烧器中心成雾状喷出，在高温下水解、融化成均匀的SiO₂-M_xO_y或多元组分玻璃，这种掺杂方法多用于制造管或棒状掺杂石英玻璃，如光导纤维预制棒和低膨胀石英玻璃等。

4、粉体掺杂：即直接把要掺杂的氧化物和二氧化硅粉料搅拌混匀后熔化成石英玻璃。用这种掺杂方法制造出的石英玻璃微光上掺杂不均匀，优点是节省人力物力，更为可取的是不污染环境，当掺杂量少或对玻璃的均匀性要求不太高时，此方法当属首选。

5、对二氧化硅粉料进行液体掺杂：将要掺杂的氧化物的盐类化合物用去离子水溶解，与二氧化硅粉料搅拌均匀，再将干燥煅烧，熔制成石英玻璃。该掺杂方法掺杂均匀，当最大的缺点是，在原料干燥煅烧是，由于掺杂的盐类分解成氧化物，会产生有害的气体污染环境，因此，煅烧设备上应安装废气回收装置，对废气进行回收、分解。