天津锦泰玻璃 专注高温玻璃产品事业
当前位置 -> 首页 -> 新闻中心 -> 石英玻璃的脱羟工艺技术及装备

新闻详情

石英玻璃的脱羟工艺技术及装备
 发布时间:2013年02月21日 浏览:5433
羟基在石英玻璃中是一种有害的非金属杂质,它可降低石英玻璃的耐温性,羟基含量1200×10-6时降低软化温度70℃,对半导体技术用石英玻璃有一定影响,在电光源石英玻璃中,羟基在高温下扩散出来使灯中的卤化物变质,电极氧化中毒,严重时会造成熄弧,影响灯的使用寿命。所以连溶石英玻璃要在真空中高温煅烧,消除羟基,称脱羟。

脱羟工艺有三种形式:①在空气中进行煅烧,因为空气中含水,所以只能清除亚稳定羟基,脱羟装备可采用隧道窑,推板窑或者箱式电炉,电加热,最高温度1000℃,脱羟后残留稳定性羟基含量在20×10-6左右;②在脱羟炉中通高纯N2[N2经过提纯,含水量为(1~2)×10-6],脱羟设备可采用推板式电炉和箱式电炉,炉门必须密闭,炉子底部留有进N2口,炉子顶部留有出N2口,整个脱羟过程不断送入高纯N2。最高温度1100℃;③真空脱羟采用扩散泵抽真空,真空度为5×10-3Pa,采用分子泵抽真空,真空度可达1×10-4Pa,炉子性能见下表。

产品型号

炉内尺寸/mm

最高温度/℃

温度均匀性/℃

极限真空度/Pa

热态真空度/Pa

L651211-11/ZM

Φ200×300

1200

±5

5×10-4

5×10-3

L651211-13/ZM

Φ300×400

1200

±5

5×10-4

5×10-3

L12700/ZM

400×400×600

1200

±5

5×10-4

5×10-3

L12111-10/ZM

610×610×1000

1200

±5

5×10-4

5×10-3

L12111-18/ZM

700×700×1000

1200

±5

5×10-4

5×10-3

L12111-14/ZM

700×800×1600

1200

±5

5×10-4

5×10-3

L12111-37/ZM

800×1000×3300

1200

±5

5×10-4

5×10-3

分子泵

350×350×500

1200

±5

5×10-5

5×10-4

羟基检测设备:采用傅里叶变换红外光谱仪,型号WQF-310/410,测量精度≤1×10-6。

脱羟温度与时间如下:

(1)在空气中煅烧脱羟:可将石英玻璃中亚稳定羟基清楚,脱羟目的为解决在封接石英玻璃是气泡不会长大,脱羟或羟基含量将到20×10-6左右,脱羟温度950℃,保温时间1-2h。产品适用于卤钨等制造。

(2)充N2脱羟工艺:脱羟温度950~1050℃,保温时间15~20h或更长,羟基含量可降到(6~8)×10-6,产品适用于汞灯制造。

(3)真空脱羟工艺:脱羟温度1050~1150℃,保温时间15~20h或更长,羟基含量可降到(1~3)×10-6或<1×10-6,产品可用于金属卤化物灯制造。

脱羟时间常常会使产品变色,主要是因为石英玻璃铁含量太高的缘故。


天津锦泰玻璃为您提供:耐高温玻璃、耐高温高压玻璃、锅炉视镜、观火镜玻璃、高温玻璃管、锡炉测试玻璃、高压视镜、耐高温密封胶、耐高温玻璃胶等产品

版权所有 © 天津锦泰特种玻璃科技有限公司  备案:津ICP备11001434号-2