脱羟工艺有三种形式:①在空气中进行煅烧,因为空气中含水,所以只能清除亚稳定羟基,脱羟装备可采用隧道窑,推板窑或者箱式电炉,电加热,最高温度1000℃,脱羟后残留稳定性羟基含量在20×10-6左右;②在脱羟炉中通高纯N2[N2经过提纯,含水量为(1~2)×10-6],脱羟设备可采用推板式电炉和箱式电炉,炉门必须密闭,炉子底部留有进N2口,炉子顶部留有出N2口,整个脱羟过程不断送入高纯N2。最高温度1100℃;③真空脱羟采用扩散泵抽真空,真空度为5×10-3Pa,采用分子泵抽真空,真空度可达1×10-4Pa,炉子性能见下表。
产品型号 |
炉内尺寸/mm |
最高温度/℃ |
温度均匀性/℃ |
极限真空度/Pa |
热态真空度/Pa |
L651211-11/ZM |
Φ200×300 |
1200 |
±5 |
5×10-4 |
5×10-3 |
L651211-13/ZM |
Φ300×400 |
1200 |
±5 |
5×10-4 |
5×10-3 |
L12700/ZM |
400×400×600 |
1200 |
±5 |
5×10-4 |
5×10-3 |
L12111-10/ZM |
610×610×1000 |
1200 |
±5 |
5×10-4 |
5×10-3 |
L12111-18/ZM |
700×700×1000 |
1200 |
±5 |
5×10-4 |
5×10-3 |
L12111-14/ZM |
700×800×1600 |
1200 |
±5 |
5×10-4 |
5×10-3 |
L12111-37/ZM |
800×1000×3300 |
1200 |
±5 |
5×10-4 |
5×10-3 |
分子泵 |
350×350×500 |
1200 |
±5 |
5×10-5 |
5×10-4 |
羟基检测设备:采用傅里叶变换红外光谱仪,型号WQF-310/410,测量精度≤1×10-6。
脱羟温度与时间如下:
(1)在空气中煅烧脱羟:可将石英玻璃中亚稳定羟基清楚,脱羟目的为解决在封接石英玻璃是气泡不会长大,脱羟或羟基含量将到20×10-6左右,脱羟温度950℃,保温时间1-2h。产品适用于卤钨等制造。
(2)充N2脱羟工艺:脱羟温度950~1050℃,保温时间15~20h或更长,羟基含量可降到(6~8)×10-6,产品适用于汞灯制造。
(3)真空脱羟工艺:脱羟温度1050~1150℃,保温时间15~20h或更长,羟基含量可降到(1~3)×10-6或<1×10-6,产品可用于金属卤化物灯制造。
脱羟时间常常会使产品变色,主要是因为石英玻璃铁含量太高的缘故。
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