由于SiO₂是难熔氧化物，高温下黏度很大，要获得结构均匀的掺杂石英玻璃较为困难，因此人们采用了多种掺杂方法，主要有以下五种。

1、  多孔质SiO₂浸润法，用氧分解SiCl-₄原料，制成多孔质二氧化硅基体，再将该基体浸入到需要掺杂的氧化物的盐溶液中，干燥后，再加热使其玻璃化而透明，称为掺杂石英玻璃。该掺杂方法多用于制造块状或异形掺杂石英玻璃。

2、  溶胶-凝胶掺杂法，以硅酸乙酸为原料，将硅酸乙酯、乙醇和水混合后，加入掺杂剂的氧化物盐类，使其变为均匀的混合液，将该混合液水解、凝胶化、收缩固化，成为均匀的胶体，在1100℃下加入该胶体，从而得到均匀的掺杂石英玻璃。该方法多用于块状掺杂石英玻璃。

3、  气相沉积工艺，以SiCl₄和掺杂物的低沸点化合物为原料，在一定蒸汽压下，用氢气分别对上述液体原料鼓泡带料，使气相混合料从燃烧器中心成雾状喷出，在高温下水解、熔化成均匀的SiO₂-M_xO_y或多元组分玻璃，这种掺杂方法很多用于制造管或棒状掺杂石英玻璃，如光导纤维预制棒和低膨胀石英玻璃等。

4、  粉体掺杂，即直接掺杂的氧化物和SiO₂粉料搅拌混匀后熔化成石英玻璃。用这种掺杂方法制造出的石英玻璃微观上掺杂不均匀，优点是节省人力物力，更为可取的是不污染环境，当掺杂量少或对玻璃的均匀性要求不高时，此方法当属首先。

5、  对SiO₂粉料进行液体掺杂，将要掺杂的氧化物的盐类化合物用去离子水溶解，与SiO₂粉料搅拌均匀，再将原料干燥煅烧，熔制成石英玻璃，该掺杂方法掺杂均匀，但最大的缺点是，在原料干燥煅烧时，由于掺杂的盐类分解成氧化物，会产生有害气体污染环境，因此，煅烧设备上应安装废气回收装置，对废气进行回收，分解。